PVD真空離子鍍膜設(shè)備塗層加工(gōng)常用靶材

發(fā)布時間:2023-03-02瀏覽量:7388

彩色係膜層和常規色膜(mó)層最大的區別就是C值和H值(zhí),所以可以說,黑色也是彩色係膜層。


 

鋯+氮氣:黃(huáng)綠調金黃色
鋯+甲烷:深淺黑色
鋯+氧氣:白色、透明膜
鋯+氮氣+甲烷:金色、仿(fǎng)玫瑰金


 

鉻+甲烷:深(shēn)淺黑色(sè)
鉻+氮氣:淺黑色
鉻+氮氣(qì)+甲烷:銀灰色
鉻+氧氣:輕黃色、紫色、綠色


 

SUS+氧(yǎng)氣:紫色
SUS+氮氣:藍(lán)色
SUS+甲烷:亮黑色
SUS+甲烷+氮氣:藍黑色


 

矽+氮氣:黑(hēi)色
矽+氧氣:混濁白、透明膜
矽+甲烷:黃色(sè)、綠色、藍色、黑色(靶材純度高於99%僅能調黑色)


 

鈦+氧氣:光學(xué)膜七彩截色,不(bú)多介紹都懂(dǒng)。
鈦+甲烷:深淺黑色( DLC製備不能達標)
鈦+氮氣:仿金色、黃銅色、紫色、紅色
鈦+氮氣+甲烷:仿(fǎng)玫瑰金、黑綠色、複古黃、棕色、紫色(sè)


 

鎢+氮氣:棕(zōng)黃色
鎢+甲烷:深淺(qiǎn)黑(hēi)色
鎢+氧氣:紫色(sè),鮮(xiān)黃色(sè),棕色,藍色(sè)


 

以上僅裝飾薄膜常用(yòng)材料及其常用氣體,通常甲烷和乙炔都可互替,但涉及部分顏色(sè)甲烷效果更好。


 

除以上常用材料(liào)外,金屬靶材還有鎳、鋁、鉭、鉿、錳、銅、鋅、銦、錫、等,均有在鍍膜中使(shǐ)用。多質靶材如鈦鋁、鉻鋁、鈦鋯(gào)、銅錳、鎳鉻、矽鋁(lǚ)、釩(fán)錸、鎢鉬等。


 

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