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電子(zǐ)束蒸發(fā)
電子束(shù)蒸發(fā)法是真空蒸發鍍膜的一種方式(shì),它是在(zài)鎢絲蒸發的基礎(chǔ)上發展起來的。在真空(kōng)條件下利用(yòng)電子束進行直接加熱蒸發材料,使蒸發材料氣化並向基板輸(shū)運,在基底上凝結形成薄(báo)膜的方法(fǎ)。在電子束加熱裝置中,被加熱的物質(zhì)放置於水冷的坩堝中,可避免蒸發(fā)材料與坩堝壁發生反應影響薄膜的質量,因此,電子束蒸發沉積法可以製備高純薄(báo)膜,同時在同(tóng)一(yī)蒸發沉積裝置中可以安置多個坩堝,實現同時或分別蒸發,沉(chén)積多種不同的物質(zhì)。通過電子束蒸發,任(rèn)何材料都可以被蒸發(fā)。電(diàn)子束是一種高速的電子流。電(diàn)子束蒸發是目前(qián)真空鍍(dù)膜技術中一種(zhǒng)成熟且主要的鍍膜方法,它解(jiě)決了電阻加熱(rè)方式中膜料與蒸(zhēng)鍍源材料直接接(jiē)觸容易互混的問題。

電子束蒸發(fā)
帶有縱向光束掃描(miáo)的車身(shēn)
帶有噴槍的係統,以(yǐ)及用於較厚層的單,多口袋和大容(róng)量坩堝的全數(shù)字光(guāng)束掃掠儀。
帶有坩堝轉塔係統的定製電子槍震源,用於特殊應用(yòng),並延長了震源(yuán)維護之間的產品時間。

離子輔助蒸發(fā)(IAD)
離子源技術可為光子(zǐ)學和光電子學領域的應用提供更低的工藝溫度,更短的工藝(yì)時間以及增強的薄膜性能。
優點:
電子束蒸(zhēng)發可以蒸發高熔點材(cái)料,比一般電阻加熱蒸發熱效率高、 束流密度大、蒸發速度快,製成的(de)薄膜純度高(gāo)、質(zhì) 量好(hǎo),厚度可以較準確地控製,可以廣泛應用於製(zhì)備高純薄膜和導電(diàn)玻璃等各種光學材料薄膜。電子束蒸發的特點是不會或很少覆蓋在目標三(sān)維結構的(de)兩側,通常隻會沉積在目標(biāo)表麵。這是電子束(shù)蒸發和濺射的區別(bié)。
應用:
常見於半導體科研工業領(lǐng)域。利(lì)用(yòng)加速(sù)後(hòu)的電子能量打擊材料標靶,使材料標靶蒸發升騰。最終沉積到目標(biāo)上。